반도체 제조 장비 전문 기업 디스코(DISCO)가 ‘세미콘 코리아 2026(SEMICON KOREA 2026)’에서 초순수(DI Water) 재활용 장치 ‘DWR’을 선보였다.

장비는 반도체 웨이퍼 절삭·연삭·연마 등 가공 작업 후 발생하는 폐수를 초순수로 재활용한다. 필터를 통해 절단 입자와 같은 부유물을 제거한 뒤 물을 보충하고, 3단계 정밀 정화 과정을 거쳐 적합한 수질을 확보하면 다시 가공 공정에 절삭수로 투입하는 방식이다.

디스코 관계자는 “재활용률은 99.5%로, 물과 에너지를 절약할 수 있다”라며 “최근 친환경·ESG 경영이 강조되면서 산업 폐수에 대한 규제가 엄격해지는 상황에서, 출품한 장비를 통해 폐수 배출량을 크게 줄여 환경 부담을 낮출 수 있다”라고 말했다.

이어 “디스코는 2030년까지 탄소중립 SCOPE 1·2를, 2050년에는 SCOPE 3까지 달성하려 한다”라며 “2024년과 2025년 매출이 크게 증가했지만, 제조 기업임에도 불구하고 온실가스 배출량은 일정 수준을 유지하고 있다”라고 전했다.

그 이유로는 에너지 효율화 전략을 꼽았다. DWR 370대 이상을 기업 내부에서 자체 생산 및 운영하는 등의 방식으로 2024년 기준 67만㎥의 수자원을 재활용했으며, 4천524kW의 전력을 태양광 발전으로 대체 했다는 설명이다.